中微公司获得实用新型专利授权：“一种等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置”，专利申请号为CN202421076909.0，授权日为2025年2月14日。

专利摘要：本实用新型提供一种等离子体处理装置，其包含：真空反应腔，其包括侧壁和设置在侧壁顶部的背板；所述侧壁上设有一传片口，用于传输基片；射频发生器，位于背板上方，用于提供射频电流；所述射频发生器通过一射频匹配器连接一射频传输件；所述射频传输件与背板上表面间隔设置，所述射频传输件上设置有若干个通孔；若干个所述通孔沿第一方向排列，所述第一方向与所述传片口所在侧壁之间具有一夹角；至少一个射频馈入件，可调节地安装在任一所述通孔内，连接所述射频传输件和背板形成射频通道，将所述射频电流传输至真空反应腔内。通过将射频馈入件设置在射频传输件上不同位置的通孔内，实现射频电流回路长度的调节，从而保证等离子体的分布均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权29个，较去年同期增加了222.22%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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