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中微公司获得发明专利授权：“射频调节装置、等离子体处理设备及射频电场调节方法”

来源：证券之星企业动态 2025-02-15 03:13:59

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“射频调节装置、等离子体处理设备及射频电场调节方法”，专利申请号为CN202011577065.4，授权日为2025年2月14日。

专利摘要：本发明提供了一种射频调节装置，等离子体处理设备及射频电场调节方法，包括位于等离子体处理设备的反应腔和内衬之间的挡板，和控制挡板移动的驱动组件，通过改变挡板的位置来调节等离子体处理设备内部射频回路的电容，进而调整射频电场的均匀性，有效弥补因在反应腔侧壁开设传片口或者反应腔内部组件的不对称产生的射频电场不均匀，使形成的等离子体更加均一稳定，为基片表面的加工良率提供保证。

今年以来中微公司新获得专利授权29个，较去年同期增加了222.22%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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