中微公司获得发明专利授权：“约束环组件、等离子处理装置及其排气控制方法”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“约束环组件、等离子处理装置及其排气控制方法”，专利申请号为CN202011489568.6，授权日为2025年2月14日。

专利摘要：本发明公开了一种约束环组件、等离子处理装置及其排气控制方法，其中该约束环组件包括：约束环，所述的约束环具有多个气体通道，用于将气体排放至约束环下方的排气区域；若干个气体通道调节件，位于所述约束环的下方，每个所述的气体通道调节件包括阻挡件，所述的阻挡件能相对所述约束环移动，对所述约束环的气体通道的间隙进行调节，以将整个约束环分为若干个调节区域。本发明能够利用微观调试工艺改变约束环气体通道的间隙，可分区域调节腔体的环境，改善制程区域不对称的问题，并进一步改善基片的制程均一性问题。

今年以来中微公司新获得专利授权29个，较去年同期增加了222.22%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。