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中微公司获得发明专利授权：“一种气体喷淋头及化学气相沉积设备”

来源：证券之星企业动态 2025-02-15 03:12:16

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种气体喷淋头及化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202110600882.5，授权日为2025年2月14日。

专利摘要：本发明提供了一种喷淋头，包括扩散板和冷却板，以及设置在两者分界面处的挡气条，挡气条位于扩散板上相邻的两个气体扩散通道之间，当冷却板在沉积反应进行时因受热而发生形变的情况下，挡气条能阻止不同气体输送通道之间的气体在扩散板和冷却板之间的缝隙处横向流动而发生不同气体的提前混合，确保了反应气体工艺参数的稳定，避免在缝隙处形成聚合物沉积，也就避免了随之而来的颗粒物污染。

今年以来中微公司新获得专利授权29个，较去年同期增加了222.22%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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