中微公司获得实用新型专利授权：“外延沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“外延沉积设备”，专利申请号为CN202420885799.6，授权日为2025年2月14日。

专利摘要：一种外延沉积设备，包括：腔室主体，其内为处理空间；基板支撑件，设置于腔室主体内；内衬，设于腔室主体内，且环绕设置在基板支撑件的外围，沿其直径方向内衬包括第一端和第二端；输入气体组件，设于第一端，其内设有第一气体输送管道，第一气体输送管道与辅助气体源相连；输出气体组件，设于第二端，其内设有气体输出管道；内衬内设置有相互连通的第二气体输送通道和第三气体输送管道，第二气体输送通道与第一气体输送管道连通，内衬沿其周向包括由输入气体组件延伸至输出气体组件的调节区域，第三气体输送管道延伸至所述调节区域，第三气体输送管道与处理空间连通。所述外延沉积设备所形成的薄膜的厚度均一性较高。

今年以来中微公司新获得专利授权29个，较去年同期增加了222.22%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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