中微公司获得实用新型专利授权：“一种热反射组件及其热反射装置和薄膜处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种热反射组件及其热反射装置和薄膜处理装置”，专利申请号为CN202323409319.3，授权日为2025年2月14日。

专利摘要：本实用新型公开了一种热反射组件及其热反射装置和薄膜处理装置，该热反射组件用于保护薄膜处理装置的腔体底壁，其包含：第一石英结构；第二石英结构，其至少部分区域位于所述第一石英结构的下方；热反射板，其上表面为镜面，所述第一石英结构和所述第二石英结构包围所述热反射板密封设置。其优点是：所述热反射组件将第一石英结构、第二石英结构和热反射板相结合，通过热反射板对热辐射进行反射，有助于提高腔内热能的利用率，降低工艺过程中的能量损耗，同时其还通过第一石英结构和第二石英结包围热反射板密封设置，有助于保证其热反射效果及其使用寿命。

今年以来中微公司新获得专利授权29个，较去年同期增加了222.22%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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