证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆支撑结构及化学气相沉积装置”，专利申请号为CN202420973565.7，授权日为2025年2月14日。
专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆支撑结构及化学气相沉积装置，所述晶圆支撑结构包括：用于承载晶圆的托盘，以及支撑所述托盘边缘的环形衬套，其中，所述托盘边缘的底面直径小于托盘的最大边缘处直径，且所述托盘的最大边缘处直径与所述衬套的外径之差不超过所述衬套外径的1％～5％，与现有技术相比，托盘边缘超出衬套外径的部分大大缩小，缩小了无法被加热装置直接加热的托盘区域，从而托盘边缘与中心的温差相比现有技术降低，不仅延长了托盘寿命，还提高了托盘的温度均匀性。
今年以来中微公司新获得专利授权29个，较去年同期增加了222.22%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。
数据来源：天眼查APP
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