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中微公司获得发明专利授权：“一种边缘环高度测量装置及方法”

来源：证券之星企业动态 2025-02-15 03:09:43

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种边缘环高度测量装置及方法”，专利申请号为CN202011479359.3，授权日为2025年2月14日。

专利摘要：本发明提供了一种边缘环高度测量装置及方法，包括放在静电吸盘上的带有定位点的承载盘，以及承载盘上的成像设备，通过成像设备多次获取边缘环的图像，然后进行数据处理后计算边缘环的高度或者厚度变化，变化数据有利于对边缘环损耗的调整，利用对不同区域多点的测量能降低误差，不需要破坏原有真空环境，大大降低了因边缘环调整耗费的停滞时间。

今年以来中微公司新获得专利授权29个，较去年同期增加了222.22%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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