证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体处理装置”，专利申请号为CN202411668534.1，授权日为2025年2月14日。
专利摘要：一种等离子体处理装置，包括：反应腔；气体喷淋头，设于所述反应腔的顶部；下电极组件，设于所述反应腔内的底部，所述下电极组件与所述气体喷淋头相对设置；导电的移动环，设于所述气体喷淋头的外围，可上下移动；接地的等离子体约束环，设于所述下电极组件的外围；导电垫片，设于所述等离子体约束环与移动环之间，当所述移动环向下移动至工艺位置时，所述移动环通过所述导电垫片与等离子体约束环电连接接地。所述等离子体处理装置，有利于降低移动环表面聚合物的沉积。
今年以来中微公司新获得专利授权29个，较去年同期增加了222.22%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。
数据来源：天眼查APP
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