中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理装置及其调节方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置及其调节方法”，专利申请号为CN202011295090.3，授权日为2025年2月14日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置及其调节方法，该装置包含：真空反应腔，其由反应腔腔体和腔体端盖包围而成；可移动上电极组件，设置在真空反应腔内；下电极组件，与可移动上电极组件相对设置，所述下电极组件与所述反应腔腔体底部可拆卸连接；若干个自对准装置，所述自对准装置包含自对准上结构和自对准下结构，其分别与所述可移动上电极组件和所述下电极组件连接，所述自对准上结构和所述自对准下结构对齐拼合时所述可移动上电极组件和所述下电极组件中心对齐。其优点是：该装置通过自对准上结构和自对准下结构协同配合，实现了可移动上电极组件和下电极组件的同心度调节，所述自对准装置结构简单，操作方便，减轻了工作人员的调试压力。

今年以来中微公司新获得专利授权29个，较去年同期增加了222.22%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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