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鼎泰高科获得发明专利授权:“一种真空腔体碳膜清洁方法”

来源:证券之星企业动态 2025-02-13 02:35:42
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示鼎泰高科(301377)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种真空腔体碳膜清洁方法”,专利申请号为CN202211316341.0,授权日为2025年2月11日。

专利摘要:本发明公开了一种真空腔体碳膜清洁方法,适应于等离子镀膜装置中管道内壁碳膜的去除,所述等离子镀膜装置包括靶材、管道、磁场控制系统、引弧机构和直流弧电源,所述管道呈中空结构,所述磁场控制系统设置在所述管道外侧,包括步骤:(1)将所述直流弧电源的正极与所述管道电连接,所述直流弧电源的负极与所述靶材电连接;(2)利用所述直流弧电源和所述引弧机构在所述靶材表面起弧,在所述管道内产生等离子体;(3)采用所述磁场控制系统控制等离子体轰击管道内壁,以去除管道内壁的碳膜。该方法效率高、环保、便捷、成本低。

今年以来鼎泰高科新获得专利授权1个,与去年同期持平。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了5557.57万元,同比增20.95%。

数据来源:天眼查APP

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