先锋精科获得发明专利授权：“可大幅度调节冷却能力的晶圆加热器”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示先锋精科（688605）新获得一项发明专利授权，专利名为“可大幅度调节冷却能力的晶圆加热器”，专利申请号为CN202110810658.9，授权日为2025年2月11日。

专利摘要：本发明公开了可大幅度调节冷却能力的晶圆加热器，包括上板，上板内孔顶面嵌设有铠装加热管，上板中部设置有测温热电偶；所述上板内孔里从上向下依次设置有盖板、冷却板和支撑轴；支撑轴上轴肩A卡设在上板下端，下轴肩B端面均匀设置有多个导向块；冷却板包括冷却管安装板和石墨匀热层上盖，冷却管安装板内设置有冷却管路，石墨匀热层上盖内设置有石墨匀热层，冷却板中部均布有多个调节螺栓；调节螺栓向下穿过支撑轴内孔和导向块卡槽，多个调节螺栓由固定块固定。本发明结构巧妙合理，方便调节冷却板与加热管距离，适用于多种工艺环境，能大幅度调节晶圆加热器的冷却能力，有效提升了生产效率，大幅降低了成本，提高了使用寿命。

今年以来先锋精科新获得专利授权1个。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了3630.9万元，同比增17.22%。

数据来源：天眼查APP

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