光峰科技获得实用新型专利授权：“干涉曝光系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示光峰科技（688007）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“干涉曝光系统”，专利申请号为CN202323625420.2，授权日为2025年2月11日。

专利摘要：本申请公开了一种干涉曝光系统，涉及光学领域，干涉曝光系统包括：光源模块，用于输出准直光束；棱镜，所述棱镜设置在所述准直光束的输出方向上，用于对入射的所述准直光束进行传输；光栅掩模，所述光栅掩模与所述棱镜的贴合设置，所述光栅掩模用于对透过所述棱镜入射于其上的准直光束进行衍射产生相干光束，所述相干光束出射至基片上并在所述基片上形成图案化的干涉曝光场；其中，所述棱镜还用于将所述光栅掩模反射回所述棱镜的杂散光进行折射输出。如此，棱镜可以出射杂散光，从而减少杂散光再次落在基片上影响干涉条纹的对比度以及曝光效果等问题的发生，有助于在基片上形成清晰度更高图案化的干涉曝光场。

今年以来光峰科技新获得专利授权22个，较去年同期增加了175%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.12亿元，同比减11.7%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。