芯联集成获得实用新型专利授权：“一种贴膜设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种贴膜设备”，专利申请号为CN202421023010.2，授权日为2025年2月11日。

专利摘要：本申请公开了一种贴膜设备，包括：晶圆承载组件，包括底板和沿周向环绕底板的第一环形凸台，第一环形凸台用于承载晶圆，第一环形凸台中设置有第一吸附孔，第一吸附孔用于吸附晶圆，底板中设置有第一气孔，第一气孔用于调整晶圆与晶圆承载组件之间形成的腔室的气压；薄膜吸附组件，薄膜吸附组件朝向晶圆承载组件一侧的周向边缘处设置有第二吸附孔，第二吸附孔用于吸附薄膜；其中，薄膜吸附组件能够在第一位置和第二位置之间切换，当薄膜吸附组件位于第一位置时，薄膜与晶圆间隔预设距离，当薄膜吸附组件位于第二位置时，薄膜与晶圆贴合。根据本实用新型的贴膜设备，能够使得薄膜与晶圆更服帖，提高了贴膜质量。

今年以来芯联集成新获得专利授权7个，较去年同期减少了12.5%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了8.69亿元，同比增33.75%。

数据来源：天眼查APP

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