芯联集成获得实用新型专利授权：“一种用于对准夹具位置校准的校准治具和晶圆承载装置”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于对准夹具位置校准的校准治具和晶圆承载装置”，专利申请号为CN202323351538.0，授权日为2025年2月11日。

专利摘要：本申请公开了一种用于对准夹具位置校准的校准治具和晶圆承载装置。校准治具适用于晶圆承载装置的对准夹具，所述晶圆承载装置包括承载台和所述对准夹具，所述承载台位于中心区域，所述支撑座承载台的中心处设置有支撑柱定位柱，校准治具通过与晶圆承载装置上的承载台中心的定位柱匹配的内凹槽将校准治具的圆盘圆心定位在承载台中心，提高了对准夹具的位置的校准速度和准确度，使晶圆与晶圆承载装置的相对位置为同心圆，从而降低了晶圆加工过程中人为干预排除错误的频率，提高了晶圆加工效率，节约了晶圆加工的人力成本。

今年以来芯联集成新获得专利授权7个，较去年同期减少了12.5%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了8.69亿元，同比增33.75%。