芯碁微装获得实用新型专利授权：“曝光设备的测距组件和曝光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“曝光设备的测距组件和曝光设备”，专利申请号为CN202420377473.2，授权日为2025年2月11日。

专利摘要：本实用新型公开了一种曝光设备的测距组件和曝光设备，测距组件包括：第一底板，第一底板与掩膜板相对设置；多个安装座，多个安装座与第一底板连接，安装座包括：第一连接件和第二连接件，第一连接件与第一底板相连接且第一连接件可相对于第一底板沿第一方向移动，第二连接件包括：第一安装部和第二安装部；测距仪，测距仪与第一安装部或第二安装部连接；其中，测距仪与第一安装部相连接时，测距仪采用漫反射测量方式；测距仪与第二安装部相连接时，测距仪采用镜面反射测量方式。其中，测距仪可随第一连接件相对于第一底板沿第一方向移动，从而调整测距仪的位置；测距仪与第一安装部或第二安装部连接，以实现漫反射测量方式或镜面反射测量方式。

今年以来芯碁微装新获得专利授权6个，较去年同期增加了100%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4893.46万元，同比增25.95%。

数据来源：天眼查APP

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