江丰电子获得发明专利授权：“一种间断性圆弧沟槽抛光垫”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示江丰电子（300666）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种间断性圆弧沟槽抛光垫”，专利申请号为CN202210246273.9，授权日为2025年2月7日。

专利摘要：本发明公开了一种间断性圆弧沟槽抛光垫，包括抛光垫本体，设置于抛光垫本体中心处的圆形沟槽，圆形沟槽的外部衍生有第一短弧沟槽，相邻第一短弧沟槽之间设置有第二短弧形沟槽，短弧形沟槽区的外部衍生有间断性弧形沟槽，呈发散状延伸至抛光垫本体上任意一点。该装置的相邻两个间断性弧形沟槽区内的弧形沟槽为间断性分布且互不连接，抛光液在从一个间断性弧形沟槽区到达下一个间断性弧形沟槽区时需要变向，增加抛光液在间断性弧形沟槽区内所停留的时间，抛光液与晶圆接触得更加充分，提高晶圆抛光的速率，并且相邻间断性弧形沟槽区内部的弧形沟槽为间断性错开分布，在抛光垫本体上分布得更加均匀，对晶圆进行抛光时能明显改善晶圆表面的平坦度。

今年以来江丰电子新获得专利授权5个，较去年同期减少了50%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.02亿元，同比增30.77%。

数据来源：天眼查APP

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