微导纳米获得实用新型专利授权：“一种腔体加热装置及处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种腔体加热装置及处理设备”，专利申请号为CN202421131250.4，授权日为2025年2月7日。

专利摘要：本申请提供一种腔体加热装置及处理设备，包括位于腔体上方的第一加热件和位于腔体侧面的第二加热件；与第一加热件连接的第一调功器，用于控制第一加热件产生第一温度；第一温度传感器，用于采集第一温度；与第二加热件连接的第二调功器，用于控制第二加热件产生第二温度；第二温度传感器，用于采集第二温度；还包括温度控制器，用以连接第一温度传感器和第二温度传感器，并控制第一调功器和第二调功器，使第二温度在设定温差下动态跟随于第一温度；第二温度大于第一温度；能够使第二加热件传递至腔体的热量与第一加热件传递至腔体的热量保持一致，从而让腔体受热更加均匀，减小腔体形变，提高腔体气密性，保持良好的工艺效果。

今年以来微导纳米新获得专利授权12个，较去年同期增加了33.33%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.21亿元，同比增88.99%。

数据来源：天眼查APP

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