证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种薄膜沉积设备”，专利申请号为CN202421159063.7，授权日为2025年2月7日。
专利摘要：本申请涉及一种薄膜沉积设备，包括本体部、转动部和载具；本体部设有反应腔；转动部包括驱动件和转动件，转动件包括轴部和转台，转台位于反应腔内，轴部的一端与转台连接，轴部的另一端伸出反应腔外并与驱动件连接，驱动件能够驱动轴部带动转台转动；载具放置在转台上，并可随转台转动；转动件还设有清洁腔，清洁腔的外壁还设有吹扫孔，轴部的外端还设有与清洁腔连通的吹扫入口。该薄膜沉积设备能够提高薄膜沉积设备内部的清洁性，保证基片镀膜质量和效率，并且降低因清理粉尘对生产效率的影响。
今年以来微导纳米新获得专利授权12个，较去年同期增加了33.33%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.21亿元，同比增88.99%。
数据来源：天眼查APP
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