芯碁微装获得实用新型专利授权：“曝光光路组件及其接近式曝光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“曝光光路组件及其接近式曝光设备”，专利申请号为CN202420457816.6，授权日为2025年2月7日。

专利摘要：本实用新型公开了一种曝光光路组件及其接近式曝光设备，曝光光路组件的发射组件的一端配合在第一镜筒的凹槽内，发射组件上形成有多个安装孔和多个第一调节孔，多个安装孔和多个第一调节孔沿第一镜筒的周向交错排布。多个第一紧固件与多个安装孔一一对应，每个第一紧固件的一端穿过安装孔与第一镜筒连接。多个第一调节件与多个第一调节孔一一对应，第一调节件通过第一调节孔调节发射组件和第一镜筒之间的夹角。根据本实用新型的曝光光路组件，达到了调整发射组件与第一镜筒之间的夹角的目的，调整了信号光投射至待曝光件的位置准确度，提升曝光的精确度。

今年以来芯碁微装新获得专利授权3个，与去年同期持平。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4893.46万元，同比增25.95%。

数据来源：天眼查APP

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