芯源微获得实用新型专利授权：“一种具有伸缩结构的涂胶机摆臂”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种具有伸缩结构的涂胶机摆臂”，专利申请号为CN202421087632.1，授权日为2025年1月28日。

专利摘要：本实用新型属于涂胶机技术领域，具体地说是一种具有伸缩结构的涂胶机摆臂，包括摆臂基板、前后驱动件、转接架、喷胶头安装板及喷胶头组。摆臂基板与涂胶机的横移机构连接，前后驱动件安装于摆臂基板上，转接架与前后驱动件的驱动端连接，喷胶头安装板连接于转接架上，喷胶头安装板上设置有喷胶头组，每个喷胶头组均包括沿左右方向均匀设置的若干个喷胶头。本实用新型可多排设置喷胶头，并能够由前后驱动件带动喷胶头安装板实现前后移动，进而使每路胶均能喷涂在晶圆中心，避免仅在单一一排设置更多喷胶头而使得适配的横移机构及摆臂本身在横向占据过多空间的问题，可以兼容的光刻胶种类增加，更适用于需要较多胶路需求的工艺。

今年以来芯源微新获得专利授权5个，较去年同期增加了150%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。

数据来源：天眼查APP

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