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金辰股份获得实用新型专利授权:“一种防下沉机构及等离子体增强化学气相沉积设备”

来源:证券之星企业动态 2025-01-29 02:11:21
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示金辰股份(603396)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种防下沉机构及等离子体增强化学气相沉积设备”,专利申请号为CN202323330141.3,授权日为2025年1月28日。

专利摘要:本申请涉及一种防下沉机构及等离子体增强化学气相沉积设备,该防下沉机构包括固定法兰,所述固定法兰套设于所述石英管的端部,所述固定法兰用于撑起所述石英管;所述固定法兰上设有至少一组支撑组件,所述支撑组件周向分布于所述石英管外缘,所述支撑组件用于径向支撑所述石英管。该机构通过多组周向分布于石英管外缘的支撑组件实现固定法兰与石英管外壁固定,以实现石英管支撑;同时利用活动支撑体与固定支撑体的间距调整,支撑组件可向石英管表面施加不同力度的支撑力,调整石英管与固定法兰间隙,使石英管周向均匀受力,既保证石英管周侧良好密封,同时降低石英管碎裂风险。

今年以来金辰股份新获得专利授权8个。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了9651.62万元,同比增1.1%。

数据来源:天眼查APP

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