金辰股份获得实用新型专利授权：“一种供气管路及等离子体增强化学气相沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示金辰股份（603396）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种供气管路及等离子体增强化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202323330147.0，授权日为2025年1月28日。

专利摘要：本申请涉及一种供气管路及等离子体增强化学气相沉积设备，其包括腔体供气管路、氮气清洗管路、至少一路第一气体供应管路、至少一路第二气体供应管路以及至少两路氮气供应管路；所述第一气体供应管路和所述第二气体供应管路分别连通所述腔体供气管路，至少两路所述氮气供应管路连通所述腔体供气管路；至少一路所述氮气供应管路连通所述氮气清洗管，所述氮气清洗管路连通所述第一气体供应管路，该供气管路通过利用各工艺气体管路进行稳定供气的基础上，增设多路氮气供应管路，在镀膜结束后反应腔体需要破真空时，多路氮气供应管路可对PECVD设备的反应腔体进行快速充氮气动作，减少整体的工艺时间，提高产能。

今年以来金辰股份新获得专利授权8个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了9651.62万元，同比增1.1%。

数据来源：天眼查APP

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