微导纳米获得发明专利授权：“一种射频电极馈入装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种射频电极馈入装置”，专利申请号为CN202110414503.3，授权日为2025年1月24日。

专利摘要：本发明涉及一种射频电极馈入装置，其包括：支撑组件，具有散热间隙；多个放置组件，沿第一方向布置于支撑组件上；每一放置组件包括设置于支撑组件的第一放置件和第二放置件，第一放置件和第二放置件分别位于散热间隙在第一方向上的两侧；及多个电极组件，电极组件与放置组件一一对应，每一电极组件均包括第一电极单元和第二电极单元，每一电极组件的第一电极单元和第二电极单元分别与对应放置组件的第一放置件和第二放置件相连。本发明的射频电极馈入装置，可以容纳多个石墨舟在支撑组件上，并通过多个电极组件配合多个放置组件，实现多个石墨舟的射频电极馈入，使一个镀膜设备的腔体能够容纳多个石墨舟，提高产能，降低单片电池片成本。

今年以来微导纳米新获得专利授权6个，较去年同期增加了200%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.21亿元，同比增88.99%。

数据来源：天眼查APP

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