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芯动联科获得实用新型专利授权：“一种三轴MEMS加速度传感器”

来源：证券之星企业动态 2025-01-25 02:36:46

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯动联科（688582）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种三轴MEMS加速度传感器”，专利申请号为CN202420445741.X，授权日为2025年1月24日。

专利摘要：本实用新型公开一种三轴MEMS加速度传感器，由X、Y、Z三个独立的感测单元构成，X、Y轴感测单元均由外延多晶硅单独制作；Z轴感测单元由外延多晶硅和下层多晶硅共同制作，下层多晶硅通过实用新型Z轴电极锚点固定在衬底上，作为Z轴固定电极，外延多晶硅作为Z轴可动电极，由于MEMS结构只通过支撑锚点与衬底连接，衬底应力对器件的影响较小。

今年以来芯动联科新获得专利授权3个，较去年同期增加了50%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5371.73万元，同比增61.84%。

数据来源：天眼查APP

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