京仪装备获得实用新型专利授权：“吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京仪装备（688652）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置”，专利申请号为CN202323548526.7，授权日为2025年1月10日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体设备技术领域，提供一种吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置。吸盘旋转组件包括吸盘组件和驱动部，吸盘组件适于吸附晶圆；驱动部与吸盘组件固定连接，适于带动吸盘组件旋转；驱动部包括架体和驱动电机组件，架体设有第一通孔；驱动电机组件固定连接于架体，驱动电机组件设有输出轴，输出轴穿过第一通孔与吸盘组件密封连接；输出轴的外侧壁与第一通孔的内侧壁之间设有密封空间，输出轴设有出气通道，架体设有进气通道；进气通道、密封空间、出气通道和吸盘组件依次连通。通过将输出轴与架体密封连接，在输出轴旋转的过程中，无需额外套设密封装置，有效减小了吸盘旋转组件在沿输出轴轴向上的高度，进而实现了小型化设计。

今年以来京仪装备新获得专利授权3个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4470.99万元，同比增63.28%。

数据来源：天眼查APP

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