芯碁微装获得实用新型专利授权：“检测平行光路平行半角和光偏角的检测装置和检测系统”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“检测平行光路平行半角和光偏角的检测装置和检测系统”，专利申请号为CN202323662955.7，授权日为2025年1月10日。

专利摘要：本实用新型公开了检测装置和检测系统，其中，检测装置包括壳体、检测光路和测量模块，壳体限定出容纳空间，壳体上具有输入孔，在检测时平行光路的光通过输入孔垂直摄入容纳空间；检测光路位于容纳空间内，用于将输入孔垂直摄入的光垂直投射至检测区域；测量模块位于检测区域，用于根据垂直投射至检测区域的光斑获得用于计算平行光路平行半角和光偏角的检测数据。该检测装置可以直接用于检测接近式曝光机的平行光路的平行半角和光偏角，提高接近式曝光机光路装配精度。

今年以来芯碁微装新获得专利授权2个，与去年同期持平。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4893.46万元，同比增25.95%。