芯源微获得实用新型专利授权：“一种晶圆搬运装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆搬运装置”，专利申请号为CN202421089324.2，授权日为2025年1月21日。

专利摘要：本实用新型提供了一种晶圆搬运装置，涉及半导体加工设备技术领域，包括直动机构、旋转机构、伸展机构和承载组件；直动机构竖直设置，旋转机构设置在直动机构的相对两侧面，并与直动机构滑动连接，直动机构用于带动旋转机构在竖直方向上移动；伸展机构分别设置在旋转机构上，并与旋转机构转动连接，旋转机构用于带动伸展机构在水平面上旋转；承载组件设置在伸展机构上，并分别与伸展机构滑动连接，伸展机构用于带动承载组件伸缩，承载组件用于承载晶圆。能够实现，在没有对晶圆搬运装置提速的情况下，大幅增加机械手的灵活性和产能，避免了因移动速度过快导致的晶圆滑片、掉片和碎片的情况。

今年以来芯源微新获得专利授权3个，较去年同期增加了200%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。

数据来源：天眼查APP

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