ST华微获得实用新型专利授权：“石英炉管及扩散炉”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示ST华微（600360）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“石英炉管及扩散炉”，专利申请号为CN202420985621.9，授权日为2025年1月21日。

专利摘要：本申请实施例提供一种石英炉管和扩散炉，涉及半导体制造设备技术领域。上述石英炉管包括炉管本体及热偶套管，热偶套管用于放置分布热偶。炉管本体包括相对设置的炉管尾端和炉管开口端，热偶套管包括相对设置的热偶套管底部和热偶套管开口端，热偶套管底部位于炉管本体内，热偶套管开口端位于炉管本体外，热偶套管开口端朝向炉管尾端，热偶套管的部分与炉管本体的内壁固定。通过在炉管本体内壁设置热偶套管，不仅可以用于放置分布热偶，通过分布热偶实时监测石英炉管内的反应温度，还可以在高温反应环境下为炉管上壁提供额外的支撑，提高石英炉管的结构稳定性，减小炉管本体的歪曲塌陷，提高石英炉管的使用寿命。

今年以来ST华微新获得专利授权3个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6046.38万元，同比增13.15%。

数据来源：天眼查APP

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