证券之星消息,根据天眼查APP数据显示迈为股份(300751)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种磁棒装置”,专利申请号为CN202421027579.6,授权日为2025年1月21日。
专利摘要:本实用新型涉及太阳能电池片PVD镀膜技术领域,尤其涉及一种磁棒装置,旨在解决磁控溅射中靶材因磁场分布导致消耗不均,进而导致镀膜不均,提高太阳能电池片不良的问题。本实用新型包括磁性组件和磁棒,磁性组件的磁极方向与磁棒一致;多个磁性组件沿磁棒的长度方向设置。本实用新型通过设置多个沿磁棒的长度方向设置且磁极方向与磁棒一致的磁性组件来改变原有磁棒的磁场方向和强度,使磁场分布更均匀。均匀的磁场使磁控溅射过程中电子分布均匀,进而电子与氩原子碰撞后产生的氩离子以及氩离子轰击靶材溅射出的靶材原子也均匀,延长了靶材更换周期并提升了成膜质量,降低了太阳能电池片的不良。
今年以来迈为股份新获得专利授权8个,较去年同期增加了14.29%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了4.19亿元,同比增47.24%。
数据来源:天眼查APP
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