敏芯股份获得实用新型专利授权：“一种MEMS芯片及电子设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种MEMS芯片及电子设备”，专利申请号为CN202421065471.6，授权日为2025年1月3日。

专利摘要：本实用新型的实施例公开了一种MEMS芯片及电子设备，其中MEMS芯片包括：层叠设置的基底、振膜和背极板。背极板包括第一绝缘层、第二绝缘层和与第一绝缘层固定连接的导电层，第一绝缘层包括在其厚度方向上贯通的多个第一通孔，导电层包括在其厚度方向上贯通的多个第二通孔，在导电层所在的区域内，第一通孔和第二通孔一一对应并相连通，第一通孔的孔径小于第二通孔的孔径，第二绝缘层包覆导电层的表面以及多个第二通孔的侧壁，以与第一通孔和第二通孔共同构造为背极板的气孔。本申请通过第二绝缘层包覆导电层的表面以及多个第二通孔的侧壁，有效地降低了因导电层裸露而引发的MEMS芯片失效的风险。

今年以来敏芯股份新获得专利授权5个，较去年同期增加了400%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了3922.75万元，同比增4.05%。

数据来源：天眼查APP

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