敏芯股份获得实用新型专利授权：“一种MEMS芯片及电子设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种MEMS芯片及电子设备”，专利申请号为CN202421066370.0，授权日为2025年1月3日。

专利摘要：本实用新型的实施例公开了一种MEMS芯片及电子设备，其中MEMS芯片包括:基底以及在基底同一侧的振膜、支撑层和背极板，在基底的厚度方向，振膜、支撑层和背极板依次层叠设置，支撑层包括第一部分和填充于第一部分中的第二部分，其中，第一部分的膨胀系数小于第二部分的膨胀系数。本申请如此设置支撑层，能够改善支撑层整体的应力状态，减小基底设置振膜一侧的总压应力，以改善MEMS芯片整体的翘曲状态。相较现有技术通过增加背极板厚度来减小MEMS芯片的翘曲方式，本申请既没有改变MEMS芯片的原有尺寸，使得芯片整体变得更重和更厚，也没有降低芯片的热传导性能，影响电子元件的性能和寿命。

今年以来敏芯股份新获得专利授权5个，较去年同期增加了400%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了3922.75万元，同比增4.05%。

数据来源：天眼查APP

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