利元亨获得实用新型专利授权：“一种射频能量馈入系统及镀膜设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示利元亨（688499）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种射频能量馈入系统及镀膜设备”，专利申请号为CN202420280369.1，授权日为2024年12月31日。

专利摘要：本申请公开了一种射频能量馈入系统及镀膜设备，其中，射频能量馈入系统包括：匹配器组件，包括：匹配器本体和与匹配器本体连接的连接组件，匹配器本体用于与电源连接；馈入组件，包括导电柱和连接件，导电柱的一端用于与连接组件连接，导电柱的另一端具有连接座，连接件具有接入部和接触部，其中，接入部连接于连接座，连接件具有接触部，接触部的一端与接入部连接，接触部的另一端沿连接件的长度方向可调延伸距离，接触部用于与电极板抵接。本申请实施例中，接触部沿连接件的长度方向可调延伸距离，可以改变接触部与电极板的接入位置，从而能够对出现驻波效应的接入区域进行调整或更改，有助于减少驻波效应的影响，利于使电场均匀分布，以提高镀膜的均匀性。

今年以来利元亨新获得专利授权4个，较去年同期减少了81.82%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了2亿元，同比减27.73%。

数据来源：天眼查APP

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