证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆清洗装置”，专利申请号为CN202111427627.1，授权日为2025年1月14日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆清洗装置，包括箱体及其内部的清洗组件，所述箱体具有顶盖、侧壁和底板，顶盖包括顶盖基座和维护门，顶盖基座上设有与维护门匹配的开口，维护门可拆卸地安装在开口处以便于维护清洗组件，维护门的下表面由中间向两侧倾斜，顶盖基座的下表面也由中间向两侧倾斜，以引导在顶盖下表面形成的液体倾斜流下，从而避免所述液体直接滴落在晶圆表面造成污染。
今年以来华海清科新获得专利授权5个，较去年同期增加了400%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。
数据来源：天眼查APP
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