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长飞光纤获得实用新型专利授权:“一种PCVD工艺均匀沉积装置”

来源:证券之星企业动态 2025-01-14 02:42:15
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示长飞光纤(601869)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种PCVD工艺均匀沉积装置”,专利申请号为CN202323404055.2,授权日为2025年1月14日。

专利摘要:本实用新型涉及一种PCVD工艺均匀沉积装置,包括有同轴对应安设在床身两侧的旋转密封夹头,两侧的旋转密封夹头与同步旋转驱动装置相连,在两个旋转密封夹头之间设置有微波谐振腔,两个旋转密封夹头包括进气旋转密封夹头和排气旋转密封夹头,进气旋转密封夹头通过进气管与原料气源相连通,所述的排气旋转密封夹头通过排气管与真空泵抽气系统相连通,其特征在于所述的排气管旁接一个辅助排气管,所述的辅助排气管通过串接电控阀与辅助真空泵抽气装置相连通。本实用新型通过增加间断的抽气能有效改善PCVD工艺沉积的轴向均匀性,从而提高沉积芯棒的有效棒长和沉积衬管质量。

今年以来长飞光纤新获得专利授权3个,较去年同期减少了57.14%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了3.48亿元,同比减5.43%。

数据来源:天眼查APP

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