中科飞测获得发明专利授权：“承载装置及半导体处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“承载装置及半导体处理设备”，专利申请号为CN202110069284.X，授权日为2025年1月14日。

专利摘要：本申请公开了一种承载装置及半导体处理设备。承载装置包括本体、凸台及限位件。本体包括第一面及与第一面相接的侧面。凸台设置在第一面的边缘，并与本体共同围成腔体。凸台包括远离第一面的吸附面，吸附面设置有吸附单元，吸附单元用于吸附工件的第一区于吸附面。腔体与工件的第二区对应，第一区环绕第二区。限位件设置于侧面并位于凸台的远离腔体的一侧，限位件与工件径向相抵，用于限定工件的位置。本申请实施方式的承载装置及半导体处理设备中，凸台与本体共同围成腔体，由于工件的第一区承载在凸台的吸附面上，以使与腔体对应的工件的第二区与腔体的底部间隔，从而避免工件的第二区放置在承载装置上出现损伤。

今年以来中科飞测新获得专利授权5个，与去年同期持平。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了2.07亿元，同比增114.22%。

数据来源：天眼查APP

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