证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中科飞测(688361)新获得一项发明专利授权,专利名为“承载装置及半导体处理设备”,专利申请号为CN202110069284.X,授权日为2025年1月14日。
专利摘要:本申请公开了一种承载装置及半导体处理设备。承载装置包括本体、凸台及限位件。本体包括第一面及与第一面相接的侧面。凸台设置在第一面的边缘,并与本体共同围成腔体。凸台包括远离第一面的吸附面,吸附面设置有吸附单元,吸附单元用于吸附工件的第一区于吸附面。腔体与工件的第二区对应,第一区环绕第二区。限位件设置于侧面并位于凸台的远离腔体的一侧,限位件与工件径向相抵,用于限定工件的位置。本申请实施方式的承载装置及半导体处理设备中,凸台与本体共同围成腔体,由于工件的第一区承载在凸台的吸附面上,以使与腔体对应的工件的第二区与腔体的底部间隔,从而避免工件的第二区放置在承载装置上出现损伤。
今年以来中科飞测新获得专利授权5个,与去年同期持平。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2.07亿元,同比增114.22%。
数据来源:天眼查APP
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