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捷佳伟创获得实用新型专利授权:“一种用于清洁硅片载具的除尘装置及硅片镀膜设备”

来源:证券之星企业动态 2025-01-14 02:41:43
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示捷佳伟创(300724)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种用于清洁硅片载具的除尘装置及硅片镀膜设备”,专利申请号为CN202420214021.2,授权日为2025年1月14日。

专利摘要:本实用新型公开了一种用于清洁硅片载具的除尘装置及采用上述除尘装置的硅片镀膜设备,除尘装置包括:支架、第一输送组件、除尘组件、升降驱动机构、检测装置和控制电路,升降驱动机构能够驱动除尘组件沿着上下方向升降;检测装置用于检测载具的加强筋;控制电路与检测装置及升降驱动机构电性连接,第一输送组件输送载具并移动经过检测装置,检测装置检测到载具的加强筋并向控制电路反馈信息,控制电路能够控制升降驱动机构驱动除尘组件向下移动靠近载具的装载面,或控制电路能够控制升降驱动机构驱动除尘组件向上移动升起,以避让载具的加强筋。通过采用上述的结构,使得除尘组件能够更加靠近地清洁载具的装载面,除尘效果更好。

今年以来捷佳伟创新获得专利授权13个。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2.91亿元,同比增34.78%。

数据来源:天眼查APP

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