证券之星消息,根据天眼查APP数据显示捷佳伟创(300724)新获得一项发明专利授权,专利名为“托盘以及载片装置”,专利申请号为CN202110381273.5,授权日为2025年1月10日。
专利摘要:本发明公开了一种托盘以及载片装置,其中,托盘配置在管式PECVD设备所使用的载片装置中并保持基材,包括:第一导体;第二导体,所述第一导体和所述第二导体之间设置有绝缘介质;所述第一导体和所述第二导体中的其中一个,可和设置在所述管式PECVD设备的第一电极连接;所述第一导体和所述第二导体中的另一个,可和所述管式PECVD设备的第二电极连接;所述基材被保持在所述第一导体和所述第二导体中的其中一个。根据本发明的托盘,不仅能够应用于配置在管式PECVD设备所使用的载片装置,而且能够使载片装置应用于例如对称电极或者非对称电极的场合。
今年以来捷佳伟创新获得专利授权3个。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2.91亿元,同比增34.78%。
数据来源:天眼查APP
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