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华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆后处理装置”

来源：证券之星企业动态 2025-01-11 03:01:22

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆后处理装置”，专利申请号为CN202111676177.X，授权日为2025年1月10日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆后处理装置，其包括：驱动机构，其竖直夹持晶圆；驱动机构，其带动所述驱动机构及晶圆旋转；供给臂，其在晶圆的侧面摆动并经由其上的喷嘴将液体供应至晶圆表面；挡圈，其设置于驱动机构的外周侧以防止所述液体溅射；所述挡圈的边沿设有导流结构，以避免所述挡圈边沿的液体积聚滴落。

今年以来华海清科新获得专利授权4个，较去年同期增加了300%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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