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士兰微获得发明专利授权：“MEMS麦克风及其制造方法”

来源：证券之星企业动态 2025-01-11 02:59:51

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示士兰微（600460）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS麦克风及其制造方法”，专利申请号为CN201911216592.X，授权日为2025年1月10日。

专利摘要：公开了一种MEMS麦克风及其制造方法。所述MEMS麦克风包括：衬底；位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板电极，所述膜片与所述背极板电极彼此隔开，所述膜片的第一表面与所述背极板电极的第一表面彼此相对；以及贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔，其中，所述背极板电极位于所述膜片的可动区域上方，并且背极板电极的面积小于膜片的可动区域的面积。该MEMS麦克风采用背极板电极的图案限定有效电容面积，以抑制寄生电容和工艺波动对器件能力的不利影响，以及提高器件的工作灵敏度。

今年以来士兰微新获得专利授权4个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4.87亿元，同比增34.18%。

数据来源：天眼查APP

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