证券之星消息,根据天眼查APP数据显示龙图光罩(688721)新获得一项发明专利授权,专利名为“曝光范围扩展方法、装置、终端设备以及存储介质”,专利申请号为CN202410130232.2,授权日为2025年1月7日。
专利摘要:本申请公开了一种曝光范围扩展方法、装置、终端设备以及存储介质,其曝光范围扩展装置应用于光刻机曝光范围扩展,包括:第一掩模台,所述掩模版基材基固定在所述第一掩模台上方;第二掩模台,所述第二掩模台设置于所述第一掩模台的外围,所述第二掩模台的几何中心和所述第一掩模台的几何中心重合,所述第二掩模台与所述第一掩模台拼接形成同一平面。实现了光刻机曝光范围扩展,提高光刻机对掩模版基材尺寸的兼容性。
今年以来龙图光罩新获得专利授权1个。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了1070.02万元,同比增17.2%。
数据来源:天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理,由智能算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。