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龙图光罩获得发明专利授权:“曝光范围扩展方法、装置、终端设备以及存储介质”

来源:证券之星企业动态 2025-01-08 02:20:21
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示龙图光罩(688721)新获得一项发明专利授权,专利名为“曝光范围扩展方法、装置、终端设备以及存储介质”,专利申请号为CN202410130232.2,授权日为2025年1月7日。

专利摘要:本申请公开了一种曝光范围扩展方法、装置、终端设备以及存储介质,其曝光范围扩展装置应用于光刻机曝光范围扩展,包括:第一掩模台,所述掩模版基材基固定在所述第一掩模台上方;第二掩模台,所述第二掩模台设置于所述第一掩模台的外围,所述第二掩模台的几何中心和所述第一掩模台的几何中心重合,所述第二掩模台与所述第一掩模台拼接形成同一平面。实现了光刻机曝光范围扩展,提高光刻机对掩模版基材尺寸的兼容性。

今年以来龙图光罩新获得专利授权1个。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了1070.02万元,同比增17.2%。

数据来源:天眼查APP

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