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中微公司获得实用新型专利授权：“一种真空吸附系统及半导体处理设备”

来源：证券之星企业动态 2025-01-07 02:31:24

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种真空吸附系统及半导体处理设备”，专利申请号为CN202323629116.5，授权日为2025年1月7日。

专利摘要：本实用新型公开一种真空吸附系统及半导体处理设备，真空吸附系统包括位于反应腔内的基座，所述基座用于承载吸附晶圆，所述基座内设有背压管路，所述背压管路一端为基座表面提供负压，以吸附晶圆，所述背压管路另一端分别连通有抽气管路和供气管路，所述抽气管路与真空泵连通，由所述真空泵抽气提供负压，所述供气管路上设有压力控制单元，以调节供气压力流量；所述抽气管路上设置抽气阀单元，以控制抽气压力流量。通过流量阀单元与压力控制单元的配合，可以为复杂的背压变换工艺提供稳定的吸附压力。

今年以来中微公司新获得专利授权9个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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