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中微公司获得实用新型专利授权：“旋转筒、基座组件和气相沉积设备”

来源：证券之星企业动态 2025-01-07 02:31:20

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“旋转筒、基座组件和气相沉积设备”，专利申请号为CN202323262311.9，授权日为2025年1月7日。

专利摘要：本实用新型提供一种旋转筒、基座组件和气相沉积设备。所述旋转筒包括一台阶状的环形顶部，所述环形顶部包括第一环形区域和位于所述第一环形区域外侧的第二环形区域，所述第一环形区域低于所述第二环形区域，所述第一环形区域用于支撑基片托盘；所述第一环形区域内设有用于阻止所述基片托盘相对于所述旋转筒转动的第一定位结构。本实用新型可以避免基片托盘和旋转筒之间发生相对转动，提高薄膜沉积质量。

今年以来中微公司新获得专利授权9个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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