中科飞测获得实用新型专利授权：“膜厚测量装置以及检测设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“膜厚测量装置以及检测设备”，专利申请号为CN202323630189.6，授权日为2025年1月7日。

专利摘要：一种膜厚测量装置以及检测设备，膜厚测量装置包括：光源模块，被配置为提供预设波长范围的照明光束；反射组件，被配置为部分切入照明光束，将照明光束的部分反射；传输组件，被配置为接收反射组件反射的照明光束，并输出至待测件；接收待测件反射照明光束形成的信息光束，并将信息光束输出至第一光束检测模块；第一光束检测模块，被配置为接收传输组件输出的信息光束，至少对信息光束的光强进行检测，输出对应的第一检测结果。本申请提供的装置不需要分光片，信息光束不存在反射或衍射，第一光束检测模块接收到的信息光束的信号强度高，有利于降低测量时间，提高检测精确度。

今年以来中科飞测新获得专利授权2个，较去年同期减少了50%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了2.07亿元，同比增114.22%。

数据来源：天眼查APP

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