中微公司获得实用新型专利授权：“一种多级尾气处理装置及化学气相沉积设备”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种多级尾气处理装置及化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202323660007.X，授权日为2025年1月7日。

专利摘要：本实用新型公开了一种多级尾气处理装置，多级尾气处理装置包括自上而下可拆卸层叠的顶盖板、冷却装置和过滤装置，顶盖板设有进气口，冷却装置和过滤装置之间设有隔板，隔板包括连通冷却装置和过滤装置的第一通孔；冷却装置的冷却腔内包括“冂”形的挡板、冷却管道和中空立柱，挡板包括顶板和侧板，顶板与所述进气口间隔相对设置，侧板与隔板间隔设置，中空立柱位于所述挡板的内侧，中空立柱的上端与顶板的下表面间隔设置，中空立柱的出气通道与所述第一通孔连通。该多级尾气处理装置能够增加尾气在冷却装置中的流动路径，增强冷却效果，且占地面积小，方便清洗。

今年以来中微公司新获得专利授权9个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。