中微公司获得实用新型专利授权：“一种等离子体处理设备”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种等离子体处理设备”，专利申请号为CN202323513147.4，授权日为2025年1月7日。

专利摘要：本实用新型提供了一种等离子体处理设备，属于等离子体刻蚀技术领域，为了解决反应腔上方功能拓展受限的技术问题，本技术方案包括：反应腔；气体喷淋头，其位于反应腔的上盖板下方，用于向反应腔通入工艺气体；基座，其与气体喷淋头相对设置于反应腔的下部，用于承载基片，基座与气体喷淋头之间形成放电空间；升降环，其可以在围绕气体喷淋头到围绕放电空间两个位置之间移动，升降环上侧通过导杆与上盖板上方的驱动器连接，以及，导杆与驱动器位于上盖板的上方的环形区域内，使上盖板上方的中心区域具有容纳空间，本技术方案主要用于需要生成等离子体对基片进行处理的系统中。

今年以来中微公司新获得专利授权9个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。