中微公司获得实用新型专利授权：“一种下电极组件及其等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种下电极组件及其等离子体处理装置”，专利申请号为CN202420898513.8，授权日为2025年1月7日。

专利摘要：本实用新型公开了一种下电极组件及其等离子体处理装置，该下电极组件包含：基座，其开设有第一通孔，第一通孔与气体源连通；设置于基座上的介电层，其顶部表面用于承载晶圆，介电层开设有第二通孔，第二通孔中设置有螺旋塞，螺旋塞的内部或螺旋塞的至少部分侧壁与第二通孔的侧壁之间具有一条弧形气体通道，弧形气体通道具有与第一通孔连通的一进气口，以及与介电层的顶部空间连通的一出气口。其优点是：该下电极组件借助螺旋塞使气体的行走路径变长，增加了气体放电路径，同时弧形气体通道增加了带电粒子与气体通道侧壁的碰撞机率，使带电粒子碰撞熄灭的机率增加，有助于避免介电层发生通孔击穿或电弧点火现象，进而保证腔内环境的稳定性。

今年以来中微公司新获得专利授权9个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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