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华海清科获得发明专利授权：“一种边缘切割晶圆的在位检测装置和在位检测方法”

来源：证券之星企业动态 2025-01-01 02:33:37

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种边缘切割晶圆的在位检测装置和在位检测方法”，专利申请号为CN202111612428.8，授权日为2024年12月31日。

专利摘要：本发明公开了一种边缘切割晶圆的在位检测装置和在位检测方法，其包括：斜孔，其设置于托架的顶部；介质源，其通过管路与所述斜孔连通；压力传感器，其设置于斜孔与介质源之间的管路，以检测管路的压力；控制部，其与压力传感器连接，以根据所述管路的压力判定晶圆是否在位；其中，所述托架的顶部还配置有与斜孔重叠的凹槽，所述凹槽的内部安装有垫板，所述垫板局部遮挡斜孔以形成检测孔；若托架上的晶圆在位，则晶圆部分或全部封堵检测孔以引起管路的压力变化。

今年以来华海清科新获得专利授权0个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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