证券之星消息,根据天眼查APP数据显示利元亨(688499)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“镀膜设备”,专利申请号为CN202420218487.X,授权日为2024年12月31日。
专利摘要:本申请实施例提供了镀膜设备,属于产品加工技术领域。镀膜设备包括:镀膜腔,包括依次设置的第一工艺腔和第二工艺腔,其中,第一工艺腔的压力值大于第二工艺腔的压力值;隔离腔组,设置在第一工艺腔和第二工艺腔之间,隔离腔组包括至少两个隔离腔,靠近第一工艺腔的第一隔离腔与第一工艺腔之间的压力差值在第一预设范围内,靠近第二工艺腔的第二隔离腔与第二工艺腔之间的压力差值在第二预设范围内。本申请实施例能够保持微晶工艺腔和非晶工艺腔两侧的压力差值在合理范围内,提高工艺稳定性。
今年以来利元亨新获得专利授权224个,较去年同期减少了54.66%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2亿元,同比减27.73%。
数据来源:天眼查APP
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