芯源微获得实用新型专利授权：“一种去胶工艺腔室内旋转机构的防水罩结构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种去胶工艺腔室内旋转机构的防水罩结构”，专利申请号为CN202323260171.1，授权日为2024年12月31日。

专利摘要：本实用新型属于半导体去胶工艺设备技术领域，具体地说是一种去胶工艺腔室内旋转机构的防水罩结构，包括防水罩主体，防水罩主体的顶面中部设置有中心凸台部，中心凸台部的顶面的高度位置高于防水罩主体的顶面的高度位置，中心凸台部的中心处开设有转接轴穿过孔，转接轴穿过孔与防水罩主体内侧的容纳空间相连通，中心凸台部的外周面顶部向外周延伸凸设有横向阻挡边沿，横向阻挡边沿的下表面与防水罩主体的顶面之间具有间隙A。本实用新型通过横向阻挡边沿的设置，可起到阻挡药水的作用，避免药水直接顺中心凸台部外周面及顶面与转接轴的弯折边沿部之间的缝隙流入转接轴穿过孔、并进入容纳空间以及到达与转接轴连接的电机所在区域。

今年以来芯源微新获得专利授权40个，较去年同期减少了4.76%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。

数据来源：天眼查APP

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